クリーンテクノロジーとは

クリーン搬送システムは、最先端の生産現場を支えるテクノロジーです。特に半導体やフラットパネル生産など、高度な清浄度を要求される分野ではキーテクノロジーとして品質、コスト、生産効率に大きく影響します。

JTE クリーンテクノロジーの特長

品質向上・ロス低減に貢献
高度な製造技術で、搬送などさまざまな工程において異物混入、付着、汚染などを防ぎ、品質の維持・向上、ロスの低減を可能にします。

事例

  • パネル処理1
  • パネル搬送2
  • パネル搬送3
  • パネル処理2

CASE.1パネル処理1

課題
ガラス基板に付着した異物をドライな状態で除去したい
提案
超音波照射によるドライ洗浄システムを搬送ライン途中に組み込むことを提案した
成果
不良品ロスが低減し、歩留りが向上し、また、フレキシブルなレイアウト対応を実現した

  • 表面ドライ洗浄

CASE.2パネル搬送2

課題
大型基板を基盤の表裏面に接触することなくPPケースに収納したい
提案
フローエアーを利用した、非接触搬送および多軸ロボットにより搬送・収納作業を完全自動化する提案をした
成果
完全自動化により人件費の削減、作業の効率化、製品品質の安定化を実現した

  • パネル移載ロボット

CASE.3パネル搬送3

課題
大型基板をクリーンな環境下で、ダメージなく搬送したい
提案
設備からの発塵を最大限抑えてクリーンな状態を保持し、振動・帯電などのストレスを与えない搬送システムを提案した
成果
ストレスとダメージのないクリーン搬送が可能となり歩留まりが向上した

  • パネル搬送

CASE.4パネル処理2

課題
大型ガラス基板に、気泡なく正確に保護フィルムを貼り付けたい
提案
稼働ロールによる自動調整機構を開発し、フィルム貼り付け作業を完全自動化する提案をした
成果
完全自動化による作業の効率化、不良品ロスの低減を実現した

  • ラミネーター

クリーンテクノロジー関連装置

  • Hoving Loader
  • ワイヤーカセットチェンジャー
  • 非接触型液晶ガラス基盤反転装置
  • 液晶基板ローダー装置
  • 液晶基板パッキング装置
  • クリーンコンベヤユニット

装置.1Hoving Loader 大型液晶基板対応 非接触式直立ローダー

Hoving Loader

大型化するLCD基板を直立姿勢による、非接触(ガラス面)で搬送します。また従来のプロセス各装置に供給すべく、直立位置水平転換装置を付加することで、搬送は「直立」そして供給は「水平」でのハンドリングを実現します。

項目仕様
基板サイズ(mm)1,300 × 1,100 t = 0.4~
搬送速度(m/min)3~15
搬送角度(deg.)88
浮上方式直立時:背面気流膜浮上
水平時:背面サポート浮上
ユニット構成非接触式直立搬送ユニット
非接触式直立ストレージユニット
非接触式直立-水平転換ユニット
シャトルハンド型基板供給ユニット
  • 非接触式直立ストレージユニット
  • 非接触式直立・水平転換ユニット
  • シャトルハンド型基盤供給ユニット

装置.2ワイヤーカセットチェンジャー 大型液晶基板対応

ワイヤーカセットチェンジャー

超大型LCD基板をストレスなくロード/アンロードすることができ、高効率で大量のLCD基板をストレージさせることができます。また高速スループットを実現することが可能となりました。

項目仕様
基板サイズ(mm)G5.5 以上
搬送速度(m/min)30(max)
クリーンClass 10
タクトタイム20 sec/sheet(G5.5サイズ)
カセット収納枚数Max 60 sheet
その他主要部マグネット駆動方式
  • ガラス搬送部
  • カセット昇降部
  • ローラー部

装置.3非接触型液晶ガラス基盤反転装置(非接触吸着パッド使用)

本装置は、吐出エアーによる「ベルヌーイ効果」を利用した非接触吸着パッドを用い、ガラス面に接触することなく垂直懸垂・反転することが可能です。また「ベルヌーイ」効果の欠点である吐出エアーの消費量を1/10程度まで低減させ、LCD基板に対して実用化することに成功しました。

項目仕様
基板サイズ(mm)930 × 730 t = 0.7~(使用パッド数により大型ガラスへの対応可)
吸着力200~500 gf(1パッド)
消費20~50 NL / min(1パッド)
  • ガラス搬送部
  • 基板昇降部
  • 吸着部

装置.4液晶基板ローダー装置

大型化LCD基板を確実かつ安定的にローディング / アンローディングすることは勿論、 製造プロセスに対応するべくCIM化にも適合いたします。
JTEの持つシステム技術とハードウェア技術の集大成です。

項目仕様
基板サイズ(mm)1,300 × 1,100 t = 0.7~
タクトタイム60 sec / サイクル
クリーンClass 100
その他カセットアライメント
基板アライメント
マッピングセンサー
CIM通信対応
  • 移載ロボット
  • カセットアライメント
  • UV遮断ブース

装置.5液晶基板パッキング装置 / アンパッキング装置

システム事例

ガラス基板の表裏面に接触することなく、PPその他ケースに確実に基板を収納します。またケースから基板を取り出しプロセスへ供給することも可能です。

項目仕様
基板サイズ(mm)80 × 680 t = 0.7~
収納速度25 sec / sheet
収納ポイント最大 4port
ハンドガラス端面支持方式
その他ガラス表裏面非接触方式
自動サイズチェンジ機能
  • パッキングロボット
  • 非接触式水平・直立ロボット
  • ケースアライメント

装置.6クリーンコンベヤユニット

クリーンコンベヤ

大型LCD基板に対応した水平搬送クリーンコンベヤ類は、基板へストレスを与えることなくクリーンな搬送を実現します。各種ユニットを取り揃え、多種多様なレイアウトに柔軟に対応できます。

項目仕様
基板サイズ(mm)1,300 × 1,100~ t = 0.4~
搬送方式ギヤ駆動ローラー搬送
搬送速度(m/min)3 ~ 20
ユニット例ストレートコンベヤユニット
方向転換コンベヤユニット
旋回コンベヤユニット
バッファコンベヤユニット
エレベータコンベヤユニット
  • ストレートコンベヤユニット
  • 方向転換コンベヤユニット
  • バッファコンベヤユニット

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