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| 多様化するLCD製造プロセスや高度化するCIMに対応すべく搬送システムの自動化が構築できます。また弊社液晶ガラスローディング装置との組み合わせにより、高度なシステム化を容易に構築することが可能となりました。 |
| 項目 |
仕様 |
| 搬送カセット（mm） |
640W X 750L X 690H |
| 許容荷重（kg） |
40 |
| 移載ロボットストローク |
X 軸 : 1,000 mm
Y 軸 : 50 mm
Z 軸 : 80 mm
θ軸 : ±10゜ |
| クリーン |
Class 1000 |
| オプション |
自動充電、オンラインコントロール他 |
外形寸法
(mm) |
全長 |
1,500 |
| 全幅 |
900 |
| 移載高 |
1,000 |
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